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提升高温下化学气相沉积（CVD）设备湿式清洁的效率与安全性
提升高温下化学气相沉积（CVD）设备湿式清洁的效率与安全性
更新时间: 09/12/2024 上传者: 59Clean
引言：
CVD设备在各行各业中扮演著重要的角色，需定期维护并确保最佳性能。在这些设备中尤其是清洁喷头或气体扩散板非常具有挑战性，特别是当这些部件需要在高温下进行清洁时。传统的擦拭方法在高温的 CVD 部件上可能会带来操作和安全风险，因为一般无尘布可能会熔化或无法提供有效清洁所需的湿度。
然而，Foamtec 的创新解决方案 MiraSAT 湿式无尘布，使用 100% 超纯水来湿润，保证足够的水分，同时利用 MiraWIPE 的微纤维结构来解决这些挑战。本文将探讨 Foamtec 的 MiraSAT 湿式无尘布如何提高 CVD 设备清洁的效率、清洁效果。
1. 温下清洁的挑战：
在高温下清洁 CVD 设备部件，如喷头或气体扩散板是一项关键。然而，传统的擦拭方法可能会出现问题，因为一般无尘布可能会熔化或无法保持足够的水分。这些可能会妨碍操作效率和安全性。
2. 介绍 Foamtec 的 MiraSAT 湿式无尘布：
Foamtec 的 MiraSAT 湿式无尘布提供了解决方案来应对 CVD 设备清洁过程中的挑战。MiraSAT 湿式无尘布专门设计用于有效地保持无尘布的溼度及洁淨度。使用100%超纯水消除了化学残留物污染的风险，确保最佳清洁效果。MiraSAT 湿式无尘布每片含有 13 毫升的100%超纯水，适用于清洁热真空室的表面。
3. 水分保持和安全性：
MiraSAT 湿式无尘布的微纤维结构使其即使在高温下也能保持足够的水分。这一特性确保了喷头或气体扩散板可以不担心擦拭布太乾燥或熔化。MiraSAT 湿式无尘布提供了完美比例的湿度，并且减少了手动润湿导致水分使用过多或不足的可能性。
4. 利用 MiraWIPE 的微纤维结构：
Foamtec的MiraWIPE超细纤维无尘布的微纤维技术进一步提升了 MiraSAT 湿式无尘布的清洁效率和效果。微纤维结构能够有效捕捉颗粒，使无尘布在清洁过程中对污染物的捕捉能力大大提高。MiraSAT 湿式无尘布的强大清洁效能减少了多次清洁循环的需要。
5. Foamtec MiraSAT 湿式无尘布的优势：
增强安全性：能够在高温下保持足够的水分，确保 CVD 设备部件的安全清洁，无需担心擦拭布熔化或乾燥。
提高效率：MiraSAT 湿式无尘布有效地保持无尘布的溼度及洁淨度并减少了手动湿润的程序，节省了时间和精力。
增强清洁效果：MiraWIPE超细纤维无尘布的微纤维结构有效捕捉颗粒。
化学纯度：使用 100% 超纯水消除了清洁过程中的化学污染风险。
结论：
Foamtec 的 MiraSAT 湿式无尘布，使用 100% 超纯水预先湿润，为高温 CVD 设备中喷头和气体扩散板的清洁提供了一种解决方案，不仅能够提高安全性、改善清洁效率，还能增加合格率。让设备在保持高洁淨标准的同时,也优化 了CVD 设备的性能和寿命。
MiraSAT产品连结:https://www.59clean.com.tw/tw/html/product/show.php?pid=198&cid=77&cid2=79